壓力傳感器制造工藝的幾種常見方法

發布時間：2022年06月29日 18時43分31秒

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　　壓力傳感器可以采用不同的方法來制造，其三種常見的方法是自頂向下光刻，自底向上制造如可控橫向外延和原子層沉積以及自組裝壓力結構通常使用脂質體等生物分子，分析物的生化檢測將是轉換成電信號。

　　方法1：自頂向下

　　自頂向下光刻是當今大多數集成電路的制造方式，它涉及從一些較大的材料開始然后雕刻出所需的形式，這些精心制作的設備尤其是那些用于帶有壓力傳感器的特定MEMS的設備，通常只有這種尺寸，但其中最新的已經開始包括發射器大小的組件。

　　方法二：自下而上

　　另外一種方法就是通過自下而上，該方法涉及將壓力傳感器組裝成更微小的組件最有可能是單個原子或分子，這將涉及到將特定物質的原子一個一個地移動到特定位置，盡管這是在實驗室測試中使用原子力顯微鏡等工具實現的，但由于邏輯原因這仍然是一個很大的困難，尤其是在大規模生產和經濟的情況下，這個過程主要就是用于構建自組裝壓力傳感器的起始分子。

　　方法三：自組裝

　　第三種方法可以保證更快的結果它涉及自組裝壓力傳感器的特定壓力結構，通常需要一整套已經自動組裝成成品的組件能夠在實驗室中為所需的傳感器準確復制這種效應意味著科學家，可以通過讓大量分子在很少或沒有外部影響的情況下自行組裝，而不必手動組裝每個壓力傳感器從而做得更快。

　　所以壓力傳感器與其他有用的技術即微機電MEMS系統及微流控設備相結合的趨勢越來越大。有用的例子包括將壓力信號施加到硅基板上，從而實現更有效的氣壓和液壓傳感應用，用于檢測血液樣本中膽固醇的微流體裝置中的金納米線使用硅上碳納米管CNT檢測有害的痕量氨， 在基于流體的MEMS設備中檢測流體樣品中的微生物。

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